半導体用語集
メンブレンプロービングカード
英語表記：membrane probing card
従来のプローブ針を使ったプロービングカードと違い，ポリイミドフィルムの配線基板上にバンプ端子を形成したもの。このバンプ一つ一つが，プローブの代わりにチップのパッド部分にコンタクトすることになる。その製造工程上フォトリソグラフィ法を使い，マスクを通して一括転写してパターンを作るため，原理的にはピン数が増えてもプローブニードルタイプと違いエ数はかからない。したがってあるピン数を過ぎると，価格的にニードルタイプより，安くできる可能性がある。
また，メンブレンカードの特徴として，他のタイプのプロービングカードより，その構造上高速化に適しているとみられる。従来のニードルタイプでは，針先が約20mmと長く，その分だけ特性インピーダンスが変わるために，反射ノイズが生じやすかった。これに対し，メンブレン型はバンプ長が数10µmと短く，その直前まで接地線を伴う配線を形成できるために，特性インピーダンスはほとんど変わらない。そのため，ウェハ状態での高速測定という市場ニーズに対応できるカードとしての期待がある。
今後の課題としては個々のパンプが，独立した動きを取りにくいため，コンタクト安定性，いわゆる高さバラツキの吸収性をどう克服していくかである。
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