半導体用語集
流量検出器
英語表記：flow sensor
流路断面を通過する流体の、時間に対する割合量を検出するセンサ。容積式、差圧式、磁界を横切って働く導電性流体に誘起される電圧より求める電磁式、超音波の伝搬速度変化を利用する超音波式などがある。
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