半導体用語集
チャンバクリーニング プラズマクリーニング
英語表記：chamber cleaning plasma cleaning
反応室内に付着した反応残渣を除去する方法。ドライエッチング法としてガスを用いたケミカルエッチング法と反応プラズマクリーニング法がある。
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