半導体用語集
秤量槽レス薬液供給装置
英語表記：measuring tank-less chemical supply system
処理槽で調合する薬液は秤量槽で計り供給しているが、装置小型化の障害となっている。秤量槽を用いず定量ポンプや精密流量計を用いて調合を行う事により、省スペースを実現するシステム。
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