半導体用語集
パーティクル
英語表記：particle
粒径が非常に小さい粒子で、ウエーハの表面に付着する異物の総称。半導体のデザインルール以下の粒径で薄膜形成後の増加量を如何に抑制するかが、装置メーカーの課題である。
関連製品
Surfscan SP7xp
KLA Corporation
先端プロセスにも対応した12.5nmサイズのパーティクルが捕捉可能な欠陥検査装置
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 検査装置 › ウェーハ欠陥検査装置
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