半導体用語集

パーティクル

英語表記:particle

粒径が非常に小さい粒子で、ウエーハの表面に付着する異物の総称。半導体のデザインルール以下の粒径で薄膜形成後の増加量を如何に抑制するかが、装置メーカーの課題である。



関連製品

Surfscan SP7xp

KLA Corporation

先端プロセスにも対応した12.5nmサイズのパーティクルが捕捉可能な欠陥検査装置

半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品 › 検査装置 › ウェーハ欠陥検査装置


会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。