半導体用語集
光電方式
英語表記：photoelectric sensing method
レーザビーム、赤外ビームなどを使用し、被測定物よりの反射光を受光素子で検出し反射光量差また反射光の移動量を検出し、厚み、フラットネス、そりを測定する方法。
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