半導体用語集
Dashエッチング
英語表記：Dash etching
シリコン単結晶の欠陥を光学的に評価する方法の一種。組成がHF：HNO3；CH3COOH=1:3:10の薬液で、結晶欠陥を選択的に腐食させ、顕微鏡などで見やすくする方法。Ｐ型の〈100〉>、〈111〉の結晶評価に適した液組成。
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