半導体用語集
有機金属気相エピタキシャル成長装置 MOVPE装置 OMVPE装置
英語表記：metal organic vapor phase epitaxial growth system MOVPE system organo-metalic VPE system
有機金属化合物とPH₃、AsH₃などの水素化合物を用いてGap、GaAsなどの化合物半導体単結晶を成長させる装置。水素ガスをキャリアガスとして用い、液体状金属化合物をバブリングし、それらの蒸気を含ませたガスと水素化合物ガスを反応室で熱分解させる。
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