半導体用語集
プリウェット
英語表記：pre-wet
メインのスプレー現象若しくはパドル現象の前に、水又は希薄な現象液をウェーハ上に数秒滴下し、レジストの表面状態を現像液になじむようにすること。
関連製品
「プリウェット」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「プリウェット」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
