半導体用語集
X線トポグラフ法 XRT
英語表記：X-ray topography
入射Ｘ線ビームに対して試料と感光剤などを平行に保って走査し、単結晶に対応した回折像を記録する方法。（1結晶法、複数結晶法とがある）
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