半導体用語集
比研磨量・圧力比
英語表記：specific amount of stock removal
研磨剤を介して加工物と工具を擦り合わせるラッピングやポリシングにおいて、加工量が両者の相対速度、圧力、時間に比例する場合の比例定数、すなわち、単位走行距離・単位圧力当たりの加工量を指す。単位は、加工量、走行距離、圧力を残してμm・m-1／Paであり、研磨能率の指標にもなる。なお、加工量と走行距離の単位を相殺して単純化すると摩擦摩耗分野の比摩耗量Pa-1と同一である。この比例関係が成立する条件は、研磨剤の供給や切り屑の排出が円滑に行われており、異常な発熱や化学的作用が顕著でない場合である。比例定数は、加工物材料、砥粒の種類、寸法、工具材料によって異なり、理論的に扱う場合に条件設定に用いることができる。なお、Prestonの法則は、ガラスのフエルト研磨布によるポリシングで加工量と研磨走行距離と研磨圧力が比例関係にあることを示したもので、比例研磨・圧力比と同一視できる。
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