半導体用語集
イオン分解能
英語表記：mass resolution
質量分析系で、質量数の接近した2種以上のイオンを分離しうる能力の程度。マススペクトル上のビーム電流量の半値幅と、そのイオンの質量数との比（M/△M）で表す。
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