半導体用語集
PPS
英語表記：per pin source
パーピンテスタに使用され、デバイス１ピン毎に印加するⅣソース（電圧電流源）。
関連製品
PPS－8200/8300
株式会社オーク製作所
WL-CSP,IGBT,CIS等の多様なアプリケーションに対応したリソグラフィシステム（6/8/12インチ対応）。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › リソグラフィ装置 › 後工程用露光装置（FOパッケージ用含む）
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