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半導体用語集

高周波電源モニタ

英語表記：high frequency power supply monitor

(1)電力計:ジェネレータに装備されており、進行波電力Pf(FWD)と反射波電力Pr(REV)を表示する。
それぞれ個別に表示するもの、1個のメータを時間的に切り換えで交互に表示するものとがある。表示信号はマッチャーからマッチングコントローラを経由して送られてくる。実際に負荷であるプラズマに送られる電力Paは、
Pa＝Pf－Pr　で与えられる。SWR（定在波比）＝Sは、
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　

より求めることができ、S＝1～∞の値を取る。
一方、反射係数Гは、


　　 =ZoーZｐ/Zo＋Zｐ　
から求めることができ、Г＝０～1の値を取る。マッチング状態では、SWR＝1となる。反射係数でみるとГ＝０となる。
(2)バリコンの回転位置の表示：バリアブルコンデンサ（以下、バリコンと呼ぶ）の静電容量値Cは、ロータがステータを半回転（0～180°以内）する間しかえることができない。バリコンの静電容量値Cの最小容量Cminはバリコンのロータが回転してステータより抜けた状態の時に得られる。一方、最大容量Cmaxはバリコンのon・off、パワーの設定などのリモートコントロールが可能になっている。
(3)進行波電力（FWD）と反射波電力（REW）の信号は、外部のコンピュータでモニタリングし表示することが可能である。
(4)セルフバイアスVdc：マッチングネットワークの伝送回路に影響ないように接続されたセンサより分圧されたデータが送られてくる。このデータを外部のコンピュータでモニタリングし表示することが可能である。
(5)RF電圧Vpp：マッチングネットワークの伝送回路に影響ないように接続されたセンサで検知し、交流電圧を直流に変換したデータが送られてくる。このデータを外部のコンピュータでモニタリングし表示することが可能である。　
　　　

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