半導体用語集
均熱管
英語表記：liner tube
各種の加熱源を利用して試料を加熱する装置において、加熱源の温度むらをそのまま試料中に伝えないよう加熱源と試料の間に入れ、試料を加熱するとき、温度を均一にするための容器。主に管（パイプ）状の容器が使われる。
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