半導体用語集
斜入射干渉計方式
英語表記：grading incidence interferometer method
被測定物表面に対しプリズムなどを使って測定光を斜めに投射させ、その反射光と基準リファレンス面からの反射光とで形成される干渉縞により、被測定物表面のフラットネス、そりを測定する方法。
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