半導体用語集
ULPAフィルタ
英語表記：ultra low penetration air filterULPA filter
定格風量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.9995％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が一般に300Pa（30㎜H2O）以下の性能をもつエアフィルタ。特に粒子捕集率が99.9999％以上のものを超ULPAフィルタと呼ぶこともある。高清浄度クリーンルーム給気の最終段階に用いられる。
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