半導体用語集
一方向流型クリーンルーム
英語表記：unidirectional flow clean room
ULPAフィルタなどで構成される、天井あるいは1つの壁の全面から空気が室内に流入し、それに対向する床あるいは壁の全面から流出するようになっている空間で、空気流が一方向に流れる形式のクリーンルーム。天井吹き出し・床吸い込みのクリーンルーム形式は垂直一方向流型クリーンルームあるいはダウンフロークリーンルームと称され、広い空間において最も高い清浄度が得られるため、電子工業用クリーンルームで多用される。一方、壁面から壁面へと流れる水平一方向流型クリーンルームは、電子工業分野では特殊な場合以外用いられない。
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