半導体用語集
オープンカセット O.C.
英語表記：open cassette
ウエーハを収納して装置間を搬送する容器であって、ウエーハを支持する部位と搬送に際して容器自体を把持する部位と、それらの支持体とからなり、ウエーハ収納部を雰囲気遮断する容器をもたず、解放状態になっているウェーハ搬送容器。
関連製品
「オープンカセット O.C.」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「オープンカセット O.C.」に関連する用語が存在しません。
「オープンカセット O.C.」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
