半導体用語集
真空掃除システム セントラルバキュームクリーニング
英語表記：central vacuum cleaning system
クリーンルーム清掃時の塵埃飛散防止のため、真空ポンプ、集塵装置などをクリーンルーム外に設け、かつクリーンルーム内に配置される吸い込口との間を真空パイプラインで結んでいるセントラル方式の掃除システム。
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