半導体用語集
プロセス管理システム
英語表記：process management system
製品品目別に装置毎や工程毎に設定するプロセス処理条件の管理。設定した条件通りに正しく材料がプロセスされたか否かを確認し、プロセス良否の判定、処理条件の帰還処理などを実行する。
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