半導体用語集
ウェーハカセット
英語表記：wafer cassette
ウェーハを格納するカセット。
関連製品
ウェーハカセットチェンジャー
PHT株式会社
キャリア間のシリコンウェーハの移し替えを搬送ロボットにて自動で行う装置
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 搬送／ハンドリング装置 › 工程間／装置間搬送装置
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