半導体用語集
スワップ搬送
英語表記：swapped transportation
プロセス装置への搬送において、処理の終わったウェーハカセットと処理前のウェーハカセットを一度に入れ替えること。一度の搬送動作で2つの搬送目的を行うため、搬送効率が上がる。
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