半導体用語集
分析マグネット
英語表記：analyzing magnet
イオンビーム中に含まれる種々のイオンから、必要とするイオン種のみを取り出すための電磁石。各イオン種は、磁場内をそれぞれの運動量に従って異なる軌道を描く。これを利用し、分析マグネットの磁場の強さを調整することにより、目的イオン種のみを選択する。
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