半導体用語集
オゾン添加超純水
英語表記：ozonized ultrapure water
微量（ppmオーダ）のオゾンを添加した超純水。超純水中に溶解したオゾンは、クリーンで強力な酸化剤として働き、Siウェーハ上の界面活性剤等の残留有機物を分解・除去し、均一で平坦な酸化膜を形成する。
関連製品
「オゾン添加超純水」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「オゾン添加超純水」に関連する用語が存在しません。
「オゾン添加超純水」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
