半導体用語集
CMP廃水処理装置
英語表記：CMP waste water treatment equipment
CMPプロセスから発生する微細粒子を含む廃水を処理する装置。大別して酸化膜工程系と金属配線工程系の2種類があり、凝集沈殿や膜分離などの方法が用いられている。
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