半導体用語集
アニール均一性
英語表記：annealing uniformity
アニールによる処理のウェーハ面内及び面間の温度のバラツキ。熱電対を用いたウェーハ温度の直接測定又はイオン注入後のアニール均一性としてシート抵抗を測定することにより求められる。
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