半導体用語集
高周波放電
英語表記：high frequency discharge
外部から高周波電力を印加して維持される放電。周波数としては100kHz 程度から1000MHZまで広い範囲で放電を起こすことができる。高周波電力の加え方によって三つの型の放電に大別される。その一つは、2枚の平行平板電極に高周波電圧を印加するタイプで、コンデンサと似ていることから容量結合型高周波放電と呼ばれる。二つ目は、コイル状のアンテナに高周波電流を流して放電させるタイプで、電磁誘導によって発生する電界を利用することから誘導結合型高周波放電と呼ばれる。三つ目は、プラズマ中に波を励起して放電を維持するタイプであり、無磁場では表面波励起プラズマ、有磁場ではヘリコン波励起プラズマやECRプラズマがある。この他、外部磁界と直交する高周波電圧を加えるタイプの高周波マグネトロン放電もある。
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