半導体用語集
プラズマ電位
英語表記：plasma potential
プラズマ内の空間の電位をプラズマ電位といい、単に空間電位(space potential)ともいう。たとえば低圧力の直流グロー放電の場合、プラズマ電位は陽極の電位に近く、数100V になる。容量結合型高周波放電では、 一般にプラズマ電位は高周波で振動している。接地電極とフローティングの高周波電極を持つ容量結合型高周波放電の場合、瞬時の最大プラズマ電位は二つの電極の面積比によって決まる。
接地電極が大きい場合は数10V程度、高周波電極が大きい時高周波電圧の振幅程度になる。理論的にプラズマ電位は、その点における空間電荷密度でケえられるポアソンの方程式を解くことによって与えられる。プラズマ電位の直流成分は、ラングミュアプローブやエミッシブプローブによって測定でされる。プラズマ電位の高周波成分はキャパシティブプローブを用いて測定できる。
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