半導体用語集
BPSGリフロー
英語表記：reflow of boro phospho silicate glass
ボロンとリンの添加不純物を含有させたガラスを熱処理により流動化、平坦化させるプロセス。流動化は、表面自由エネルギーが最小となるように表面の凹凸が平滑化されていく物質輸送、すなわち、粘性流動、表面拡散などで生じる。そして、BPSG膜の組成は、(SiO2)ｘ、(P2O5)ｙ、(B2O3)ｚと表される。ここでは、BPSG中のボロンとリンの割合が、増加するにつれガラス流動化温度が低くなり、リフロー性も増加する。しかし、その反面、吸湿性や不純物の析出などが、問題となる。この点がリフローによる平坦化のネックとなっており、最近では、微細化に伴い求められる高い平坦性を実現するため、CMPと組み合わせて用いられるようになっている。
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