半導体用語集
自動消火装置
英語表記：automatic fire extinguisher
装置が発火した場合、そのことを検知したセンサの指令で消火剤を噴射し、速やかに鎮火させるさせる装置。万一引火しても延焼を防ぐために設置する必要がある。IPA蒸気乾燥装置や有機薬品を使う場合は必ず設置が必要。消火はCO₂ガスが主流で、その場合誤噴射を含めた噴射後の作業者への酸欠問題を考慮する必要がある。
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