半導体用語集

ドーム型治具

英語表記:dome jig

内側に複数のウェーハを保持できるドーム状のウェーハホルダ。中心軸上に蒸発源を設置し、又ドームを公転させることにより、一度に多数のウェーハに均一な膜を付着させることができる。


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