半導体用語集
モニタード バーンイン装置
英語表記:monitored burn-in system
ダイナミックバーンインにおいて、半導体デバイスの入力回路に信号を印加するだけでなく、出力回路の特性もモニタできる機能を持ったスクリーニング装置。デバイスの良否判別機能を有するものもある。
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