半導体用語集
ドレインボックス
英語表記：drain box
ウェーハへのレジスト塗布及び現象は回転により行われるが、この時ウェーハに過剰に滴下した薬液は排液となる。この排液を塗布あるいは現像部の直下で回収する容器のこと。有機薬品使用ということで局部排気機能を有する。直下で回収せず、工場設備また別回収容気（装置外）へ排出させるオートドレイン方式もある。
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