半導体用語集
システム端末
英語表記：terminal
主にホストの情報をラインにおいて操作するための通信端末。クリーンルーム内の製造ラインにおいて、プロセス情報の確認など行う。また自動化ラインのトラブル時の緊急対策を行うこともある。
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