半導体用語集
ボディ
英語表記:body
実際に使用される一定の直径を有する領域。一定直径の結晶を成長しているので直胴部ともいわれている。現在は直径を検出して連続的に自動制御系で定寸化している。
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実際に使用される一定の直径を有する領域。一定直径の結晶を成長しているので直胴部ともいわれている。現在は直径を検出して連続的に自動制御系で定寸化している。
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