半導体用語集
サーマルビア
英語表記：thermal via
放熱特性の向上のため，配線基板またはパッケージ内のチップ直下などに複数設けられたビアで，通常，電気的にはフローティング状態になっている。ビアが高熱伝導の導体（銅など）であるため，少数の設置でも放熱効果は高い。
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