半導体用語集
アンダエッチング
英語表記：under etching
被エッチング材科のエッチングを途中で止めること、または、止めた状態。エッチングの実験・評価を行う場合に使用される。エッチングレート、均一性・断面状態の顕微鏡による観察・マイクロローディング効果の測定などが行われる。
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