半導体用語集
インナリード/アウタリード
英語表記:inner-lead/outer-lead
リードのうち,プラスチック封止体の内部にある部分をインナリード,プラスチック封止体の外部にある部分をアウタリードという。
リードフレームのICパターンの中で,ボンディングパッドに接続されるボンディングフィンガ部と,外部端子とを結ぷ部分がインナリードである。先端部に形成されたボンディングフィンガは,通常,AgまたはAuめっきが施されているが,最近は部分的なめっきではなく,全面にNiおよぴPdめっきを施したフレームも用いられる。
インナリードの設計で重要なことは,ボンディングフィンガ付近の形状である。ワイヤボンディングに適したリード角度およびリード幅形状に設計をし,ボンディングフィンガ位置やワイヤ形状を吟味することで,ワイヤボンディング工程での歩留りを向上できる。またインナリードの先端からアウタリードまでの中間部分の配線形状は,リードフレームの加工性を考慮して,配線幅や配線間隔,および直線部分の長さや屈曲部の位置が決定される。
また,アウタリードは,リード曲げおよび切断工程を経た後にパッケージ外形の規格に合致するよう平面状での形状設計する。組立工程後,アウタリードは1本ずつ切り離された端子の状態になるが, リードフレームの状態ではそれらがばらばらにならないよう,タイバやアウタリード先端部にてアウタリード間を一定幅の線状パターンで結合する。この形状は,組立工程時の応力と切断工程手順を考慮して定められる。
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