半導体用語集
オートダンパ カップ内排気
英語表記：automatic damper sequential damper exhaust for coater exhaust for developer
レジストの塗布、現象時にプロセスシーケンスに従い、自動的にカップ内の排気量を制御する機構。単に排気取り口を開閉する方式のものから、最近ではデジタルで制御する方式も使用されており、シーケンシャルダンパとも呼ばれる。
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