半導体用語集
寸法シフト 寸法変換量 CDロス
英語表記：pattern shift critical dimension loss
エッチン前のエッチングマスクの線幅W1から完成した被エッチング材料の線幅W2 又は W′2を引いた値として、次式により求められる。
寸法シフト＝W1－W2 又は W′2
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