半導体用語集
波面収差
英語表記：wave aberration
光学系の瞳面の位相のみだれ。低次の収差としては歪曲収差、像面湾曲、非点収差、コマ収差、球面収差の五つをザイデルの五収差と呼ぶ。歪曲収差は投影されたパターン位置のすれである。一般には像高に応して倍率が変化することにより発生する。この場合の糸巻き/たる型の形状が典型的な形状である。非点収差は縦線/横線でベストフォーカスが変化する現象。像面湾曲は像高に応して像面が変化し平面ではなく曲面になる現象。コマ収差では、点像が彗星のように尾をひいたようになる。パターンの空間周波数成分に応じて結像位置が変化するためである。球面収差はパターンサイズに応じて焦点位置が変化する収差である。
高次の収差まで含める場合は、の式を用いてゼルニケ36項の係数で表現する。色収差は光の波長の違いに応じて屈折率が変化するために発生する収差をいう。波長に応じてベストフォーカス位置が変化するものを軸上色収差といい、波長に応じて倍率が変化する現象を倍率の色収差という。色収差は、一般に波長に対する屈折率の変化率(波長分散)が異なる光学材科を組み合わせることで収差を補正する。このようなレンズを色消しレンズと呼ぶ。露光装置ではこの色収差を低減するために、光源の波長分布の幅を狭くしている。水銀ランプのg線、i線を用いる露光機ではバンド幅は5nm程度、また遠紫外線レーザであるKrFエキシマレーザ、 ArFエキシマレーザでは、使える光学材料が限られるため、1pm以下まで狭帯域化されている。
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