半導体用語集
SR露光装置 SOR露光装置
英語表記：synchtionrotron radiation
電子蓄積リングから発生するSR（シンクロトロン放射光）の軟X戦で露光する、プロキシミティ露光装置。放射光の平行性がよいため、他のX線源より微細なパターンの転写が可能。
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