半導体用語集
塑性変形
英語表記:plastic deformation
固体物性は弾性変形(elastic deformation)の限界を超す外力が加わると、永久歪を生じて連続的に変形し、これを塑性変形(plastic deformation)という。延性、展性などの性質は塑性に属する。半導体結晶の塑性変形の開始は高温での転位の発生・増殖による。高温での塑性変形の進行は、主に高密度の転位のすべり運動による。格子間シリコンや空孔の拡散運動も転位の移動に関与し、転位線はこれらの点欠陥の捕獲により移動する。この現象は転位の上昇運動と呼ばれる。半導体結晶は常温では脆性を示し、塑性変形に至らず破断・劈開する。
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