半導体用語集
上定盤
英語表記：upper lapping plate
上側より加工物を押さえるドーナッツ状の円板。溝のあるものと無いものがありスラリーが落ちる穴があいている。溝形状には、加工物の大きさに合わせたマス目溝や放射溝等が使われている。
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