半導体用語集

下定盤

英語表記:lower lapping plate

加工物をのせて回転するドーナッツ状の円板。定盤受けからの回転を定盤に伝達するための回り止め用の穴が加工面の反対側にあいている。溝形状は、上定盤と同様で、マス目の大きさが上定盤に比べて大きい場合が多い。


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