半導体用語集
自動定寸装置
英語表記：adaptive controller automatic thickness controller
加工中の加工物の厚み寸法を自動的に計測し測定された寸法で信号を出す装置。信号の出し方として、上下定盤間の距離を渦電流センサーで表示するもの、水晶片をキャリアのセンターに入れ、水晶の圧電効果を利用して発信周波数を表示するもの等が使用されている。
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