半導体用語集
フォーウェイ方式
英語表記：four-way
上定盤と下定盤がそれぞれ反対方向に回転し、上下定盤にはさまれた遊星ギア（キャリヤ）が定盤の中心の太陽ギアと周囲に位置するインターナルギアにかみ合って自転しながら下定盤の回転方向へ公転するので、キャリヤ内の加工物には4方向の運動が与えられる方式。
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