半導体用語集
プリパージ
英語表記：pre-purge
熱処理炉、チャンバもしくはガス配管系統を使用する前に、不活性ガス等を導入し、清浄化する操作。
関連製品
「プリパージ」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「プリパージ」に関連する用語が存在しません。
「プリパージ」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
