半導体用語集
無欠陥領域
英語表記：denuded zone
チョクラルスキー法でつくったシリコンウェーハを適当な熱処理（例えば1050℃、数10時間、N2雰囲気）を施すと、ウェーハの表面近傍の酸素は外部に拡散することにより形成される。低酸素で酸素析出など全く欠陥のない領域。非酸化性の水素やアルゴン雰囲気の熱処理は結晶中の酸素の外方拡散が効果的に形成される。略してDZ層ともいう。
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